
TECHNISCHES HANDBUCHjinb80d1-h (1012) ORIGINALBETRIEBSANLEITUNGKatalog-Nr.550-300550-310550-330Ab Softwareversion 1.7Modul1000Modulares Dichtheitspr
1-4 Benutzerhinweisejinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)
9-15 Technische Datenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Die Spannungsdifferenz zwischen Pin 2 und den Pins 4 und 5 beträgt maximal ±4 V.Anschluss vo
Technische Daten 9-16jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Die Spannungsdifferenz zwischen PIN 2 und PIN 4 / 6 darf maximal ±4V betragen.Abb. 9-9 Ansch
9-17 Technische Datenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)9.5.4 ValvesInterne VersorgungAbb. 9-10 AnschlussbeispielPos. Beschreibung1 Ventile I max &l
Technische Daten 9-18jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Externe VersorgungAbb. 9-11 AnschlussbeispielPos. Beschreibung1 Ventile I max < 0,2 A, ma
9-19 Technische Datenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)9.5.5 RecorderLastwiderstand >10kΩGenauigkeit des Analogausgangs:Endwert: 10V: 1,2% vom E
Technische Daten 9-20jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)9.6 Einbauzeichnung der Bedieneinheit zum RackeinbauAbb. 9-13 Ausschnitt der Schalttafel zum
9-21 Technische Datenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)9.7 Commander BetriebAbb. 9-14 Ablaufdiagramm0Groblecktest1Prüfling abpumpen2Helium b
Technische Daten 9-22jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)9.8 CE-Zertifikat
10-1 Fehlermeldungen und Warnungenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)10 Fehlermeldungen und WarnungenNr. Angezeigte Meldung Beschreibung und möglich
Fehlermeldungen und Warnungen 10-2jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)W18Service-Intervall für Lüfter-Filter ist abgelaufen! Das Serviceintervall für
Wichtige Sicherheitshinweise 2-1jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)2 Wichtige Sicherheitshinweise2.1 Bestimmungsgemäßer GebrauchDas Modul1000 ist fü
10-3 Fehlermeldungen und Warnungenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)E3424 V Spannung auf MSV-Karte ist zu niedrig!Signal MVPZN auf der MSV Platine
Fehlermeldungen und Warnungen 10-4jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)E44 Katodenstrom ist zu niedrig!Signal MPKZN auf der MSV Platine ist aktiv. Kat
10-5 Fehlermeldungen und Warnungenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)E54Temperatur an der Elektronikbaugruppe ist zu hoch! (60°C)Die Umgebungstemper
Fehlermeldungen und Warnungen 10-6jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)W64 Vorverstärkersignal ist zu groß.Vorverstärkersignal hat im unempfindlichste
10-7 Fehlermeldungen und Warnungenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)W78Signaldifferenz zwischen offenem und geschlossenem Testleck ist zu klein.Die
Fehlermeldungen und Warnungen 10-8jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)W86Alle I•STICK Parameter verloren! Bitte überprüfen Sie Ihre Einstellungen.I•S
10-9 Fehlermeldungen und Warnungenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)W95Testgas ablassen dauert zu langeZeit t1 > als die Testgas Entspannzeit t_
Bestellinformation 11-1jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)11 BestellinformationBeschreibung Kat. Nr.Bedieneinheit Tischbetrieb 551-100Bedieneinheit
11-2jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)11.1 Servicezentren weltweitAlgerien [email protected] Indien [email protected].: +45 741
11-3jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Norwegen [email protected] Syrien [email protected].: +45 741 236 36Fax: +
2-2 Wichtige Sicherheitshinweisejinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)2.3 Anwendungsgrenzen2.4 Gefährdungen bei bestimmungsgemäßem GebrauchLesen Sie, b
11-4 Stichwortverzeichnisjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Stichwortverzeichnis Vorpumpe siehe PumpeAAbmessung 9-1Accessories 4-3Alarme 6-16Alar
Stichwortverzeichnis 11-5jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)KKalibrieraufforderung 6-29Kalibrier-Faktor 6-30Kalibrierung• extern 6-10– manuell 6
11-6 Stichwortverzeichnisjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Serviceliste 6-31Setpoint 6-18Sicherungen 7-10Speichern• Parameter 6-27Sprache 6-26
Stichwortverzeichnis 11-7jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)
INFICON GmbH, Bonner Strasse 498, D-50968 Cologne, GermanyUNITED STATES TAIWAN JAPAN KOREA SINGAPORE GERMANY FRANCE UNITED KING
Wichtige Sicherheitshinweise 2-3jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)STOPGefahrLebensgefahr durch StromschlagNetzstecker ziehen, bevor das Modul1000 g
2-4 Wichtige Sicherheitshinweisejinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)WarnungWarnungVerletzungsgefahr durch rotierende Teile.Modul1000 vor einem Tramsp
Wichtige Sicherheitshinweise 2-5jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Hinweis Dies kann z. B. der Fall sein:• wenn das Gerät sichtbare Beschädigungen
2-6 Wichtige Sicherheitshinweisejinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)VorsichtVorsichtDas Modul1000 wird durch aggressive Stoffe zerstört.Kontakt mit B
Wichtige Sicherheitshinweise 2-7jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)VorsichtTurbomolekularpumpe kann durch ruckartige Bewegungen beschädigt werden.Mo
3-1 Gerätebeschreibungjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)3 GerätebeschreibungDas Modul1000 ist ein Helium-Dichtheitsprüfgerät, das zum Einbau in Dic
Gerätebeschreibung 3-2jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Abb. 3-2 Ansicht der rechten und hinteren SeitePos. Beschreibung Pos. Beschreibung1 Einlass
0-2jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)ImpressumINFICON GmbHBonner Straße 49850968 KölnGermanyCopyright© 2010 INFICON GmbH, Köln. Dieses Dokument dar
3-3 Gerätebeschreibungjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)3.2 Die SchnittstellenDie 16-poligen Steckerleisten für PLC OUT und VALVES sind verwechslun
Gerätebeschreibung 3-4jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)3.3.1 Tischbetrieb Die Bedieneinheit lässt sich verrutschsicher auf ebenen Arbeitsflächen a
3-5 Gerätebeschreibungjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)3.3.3 Fernbedienung RC1000Die drahtlose Fernbedienung RC1000 erlaubt den Betrieb des HLD500
Gerätebeschreibung 3-6jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)3.4 Lieferumfang• Dichtheitsprüfgerät für Helium und Wasserstoff, Modul1000• Netzleitungen
3-7 Gerätebeschreibungjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)3.5.3 Satz Anschlussstecker für SchnittstellenDer Steckersatz enthält folgende Stecker:PLC
Installation 4-1jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)4 Installation4.1 Mechanische InstallationDas Modul1000 eignet sich zur Montage unterhalb und obe
4-2 Installationjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)4.2.2 Elektrische SchnittstellenAlle elektrischen Schnittstellen des Modul1000 sind übersichtlich
Installation 4-3jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Schnüffelleitung SL200 bzw. Testkammer TC1000 (ACCESSORIES)An den Anschluss ACCESSORIES können di
4-4 Installationjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Analoger SchreiberausgangDie beiden Schreiberausgänge (Recorder) können zur Aufzeichnung der Leck
Installation 4-5jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Mit dem Steckbrückenfeld XT1 bzw. XT2 kann durch Umstecken der jeweiligenSteckbrücke (Pin 2 und 3
Inhaltsverzeichnis 0-3jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Inhaltsverzeichnis1 Benutzerhinweise 1-11.1 Anwendung dieser Anleitung 1-11.2 Warnzeichen
4-6 Installationjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)4.2.3 Vakuumtechnische AnschlüsseVorvakuumpumpeDer Anschluss für die erforderliche Vorvakuumpumpe
Installation 4-7jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)BelüftungNormalerweise werden die Prüflinge oder angeschlossene Vakuumkammern nachAbschluss der P
5-1 Betriebsartenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)5 BetriebsartenEs gibt folgende Vakuum-Betriebsarten: • Vakuum, • Commander,• Auto Leak Test. Be
Betriebsarten 5-2jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)5.2 TeilstrombetriebUm das effektive Saugvermögen an der Vakuumkammer oder dem Prüfling zu erhö-
5-3 Betriebsartenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)5.3 Auto Leak TestIn der Betriebsart Auto Leak Test können Bauteile, die mit Helium befüllt sind
Betriebsarten 5-4jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)SerienfehlermeldungIm Softwaremenü kann eingestellt werden, dass nach einer bestimmten Anzahl vo
5-5 Betriebsartenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)5.4.1 Aufbau einer LecksuchanlageDer Aufbau einer Lecksuchanlage mit der Modul1000-Commanderfunk
Betriebsarten 5-6jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)HeliumbefülleinrichtungDie Heliumbefülleinrichtung setzt sich aus der Vakuumpumpe, den Ventilen
5-7 Betriebsartenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Vakuumbereiche" zwischen 0,2 mbar und 0,4 mbar einstellbar. Abhängig von der Einstellung &q
Betriebsarten 5-8jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)5.5 SchnüffelbetriebDas Modul1000 in der Schnüffelversion kann sowohl als Vakuum- als auch alsSc
0-4 Inhaltsverzeichnisjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)6 Betrieb 6-16.1 Einschalten 6-16.2 Status LED 6-16.3 Steuerung 6-26.4 Steuerbefehle 6-36
6-1 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)6 Betrieb6.1 EinschaltenGerät wie im Kapitel Installation beschrieben installieren. Netzleitung anschl
Betrieb 6-2jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)6.3 SteuerungDas Modul1000 kann über die Bedieneinheit, über eine Fernbedienung, über dieSPS-Eingänge
6-3 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)6.4 SteuerbefehleFolgende Steuerbefehle können über die entsprechenden Tasten auf der optionalenBedien
Betrieb 6-4jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)MENUDurch Betätigung der Taste MENU wird das Auswahlmenü auf dem Display ange-zeigt. Display-TastenDie
6-5 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Um die Triggerschwelle von 1.0x10-9 mbar l/s auf 3x10-9 mbar l/s zu ändern, die Taste 2/3 (Taste Nr. 3
Betrieb 6-6jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)6.5 DisplayDas Display zeigt Messwerte, Betriebsmodi, Geräteparameter und deren Wertesowie die Funktio
6-7 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)MessenSobald der Druck am Einlass des Modul1000 die eingestellte Druckgrenze unter-schreitet, wechselt
Betrieb 6-8jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)MesswertanzeigeIm Messbetrieb kann zwischen zwei verschiedenen Darstellungen zur Messwertan-zeige gewä
6-9 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)6.6 Kalibrieren im VakuumbetriebDas Modul1000 kann auf verschiedene Weise kalibriert werden. Bei jeder
Betrieb 6-10jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Externe KalibrierungDie externe Kalibrierung bietet den Vorteil, dass sie die anwendungsspezifischenM
Inhaltsverzeichnis 0-5jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)8.2 Entsorgung 8-19 Technische Daten 9-19.1 Gerätedaten 9-19.1.1 Stromversorgung 9-19.1.2
6-11 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)6.8 Kalibrieren im AutoleaktestEs sind 4 Arten der Kalibrierung wählbar:• intern automatisch• intern
Betrieb 6-12jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)6.10 MaschinenfaktorDer Maschinenfaktor berücksichtigt die Tatsache, dass das Modul1000 parallel zuei
6-13 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)6.11 MenüstrukturHauptmenü Modul1000AnzeigeSkalierung linear / logarithmischAnzeigebereich auto / man
Betrieb 6-14jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Hauptmenü Modul1000InfoEinstellungen anzeigenInterne Daten anzeigenVakuumschemaSchnittstellenProtokol
6-15 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)6.12 Beschreibung der MenüpunkteDie Menüpunkte, auf die sich die jeweilige Beschreibung bezieht, sind
Betrieb 6-16jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)→ KontrastDer Kontrast des Displays ist veränderbar. Änderungen des Kontrasts sind sofortsichtbar. U
6-17 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)→ LautstärkeIm Menüpunkt "Lautstärke" kann durch Drücken der Tasten "↑" und &quo
Betrieb 6-18jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Beispiel: Die Triggerschwelle 1 beträgt 4×10-7mbar l/s. Somit reicht das Fenstervon 4×10-8 mbar l/s b
6-19 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)5 Nur bei der externen manuellen Kalibrierung fordert das Modul1000 Sie auf das externe Testleck zu
Betrieb 6-20jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)6.12.6 Hauptmenü→Einstellungen6.12.6.1 Hauptmenü→Einstellungen→ Vakuumeinstellungen→ Spülen & Gas
0-6 Inhaltsverzeichnisjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)
6-21 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)→ TeilenummerIm Softwaremenü Teilenummern kann der Teilezähler aktiviert werden und ein Start-wert be
Betrieb 6-22jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)→ Commander Druckschwellenp_A GroblecktestDruck auf den der Prüfling maximal absinken darfWerkseinste
6-23 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Hauptmenü→Einstellungen→ Vakuumeinstellungen→ Leckrate internes TestleckDer Wert des internen Testlec
Betrieb 6-24jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Hauptmenü→Einstellungen→Schnittstellen→Steuerungsort→ SPSDas Modul1000 wird über den Digitaleingang g
6-25 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Hauptmenü→Einstellungen→Schnittstellen→ Externes DruckmessgerätIm Commander Betrieb muss das Modul100
Betrieb 6-26jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)→ SchreiberausgangSiehe Kap. 9.4 Analogausgang (Schreiberausgang).→ Skalierung SchreiberausgangIn die
6-27 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Der verwendete Algorithmus bietet eine ausgezeichnete Empfindlichkeit und Reak-tionszeit; die Nutzung
Betrieb 6-28jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Durch Betätigen der Tasten "Speichern PARA SET 1" bis "Speichern PARA SET 3"könn
6-29 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)6.12.6.7 Hauptmenü→Einstellungen→Überwachung→ KalibrieraufforderungHier lässt sich einstellen, ob der
Betrieb 6-30jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)→ Maximale EvakuierungszeitMit diesem Menüpunkt wird festgelegt, wann eine Grobleckmeldung erfolgen s
Benutzerhinweise 1-1jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)1 Benutzerhinweise1.1 Anwendung dieser Anleitung• Bitte lesen Sie dieses Handbuch, bevor Sie
6-31 Betriebjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Hauptmenü→ Info→ Protokollierte Daten→ Fehlerliste anzeigenDie letzten 12 aufgetretenen Gerätefehler
Wartungsarbeiten 7-1jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)7 WartungsarbeitenDas Modul1000 ist ein speziell für den industriellen Einsatz konzipiertes u
7-2 Wartungsarbeitenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Das Modul1000 verfügt über 3 unabhängig voneinander ablaufende Wartungszäh-ler. Im einzelnen:
Wartungsarbeiten 7-3jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)7.3 WartungsplanLegende zum Wartungsplan• I Servicestufe I Kunde• II S
7-4 Wartungsarbeitenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Zur Durchführung der 1500 Std.- Wartung müssen die Filtereinsätze in der Chassis-haube kontro
Wartungsarbeiten 7-5jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)2-jährige Wartung Betriebsmittelspeicher TMH 071Die 2-jährige Wartung des Betriebsmittelspeic
7-6 Wartungsarbeitenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)7.5 Beschreibung der WartungsarbeitenVeränderungen am Modul1000 die über den normalen Umfang
Wartungsarbeiten 7-7jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)3 Das Aufsetzen der Gerätehaube erfolgt in umgekehrter Reihenfolge. Achten Sie beim Aufsetzen
7-8 Wartungsarbeitenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)5 Mit Spezialwerkzeug (Stirnlochschlüssel) Verschlussdeckel an der Unterseite der TMH 071 her
Wartungsarbeiten 7-9jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Abb. 7-4 Betriebsmittelspeicher ersetzenPos. Beschreibung Pos. Beschreibung1 Betriebsmittelsp
1-2 Benutzerhinweisejinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)1.3 DarstellungskonventionenHinweis Verweist auf sehr wichtige Informationen.1 Verweist auf e
7-10 Wartungsarbeitenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)7.7 Sicherungswechsel7.7.1 Übersicht der elektrischen SicherungenHinweis Der Sicherungswecks
Wartungsarbeiten 7-11jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)7.7.2 Netzsicherung austauschenBenötigtes Werkzeug • Schraubendreher Gr.1Benötigtes Material
7-12 Wartungsarbeitenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)7.7.3 Sicherungen Schnittstellenkarte tauschenDie Schnittstellenkarte (SSK) beinhaltet die S
Wartungsarbeiten 7-13jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)7.8 Parameterspeicher (I•STICK) austauschenAnwendungsparameter des Kunden sind im I•STICK ge
7-14 Wartungsarbeitenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)7.9 Flutfilter austauschenDer Flutfilter wird im Rahmen der 5000 Stunden Wartung überprüft b
Transport und Entsorgung 8-1jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)8 Transport und Entsorgung8.1 Transport nach KontaminationFalls Sie ein Gerät an INFI
9-1 Technische Datenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)9 Technische Daten9.1 Gerätedaten9.1.1 Stromversorgung9.1.2 Gewicht / Abmessungen9.1.3 Eigens
Technische Daten 9-2jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)9.1.4 UmgebungsbedingungenFür die Benutzung in RäumenZulässige Umgebungstemperatur (bei Betri
9-3 Technische Datenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)9.2 Steuerung über die SPS Ein- und AusgängeSoll das Modul100 über die SPS- Ein und Ausgänge
Technische Daten 9-4jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)ZEROFlankengesteuerter EingangWechsel LOW nach HIGH: ZERO einschalten.Wechsel HIGH nach LOW:
Benutzerhinweise 1-3jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Interner HeliumuntergrundDer vorhandene Heliumpartialdruck im Messsystem. Die Größe des inter
9-5 Technische Datenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Wechsel HIGH nach LOW:Bei externer Kalibrierung: Bestätigung, dass externes Testleck geschlos
Technische Daten 9-6jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)9.2.2 SPS AusgängeDie 16-polige Phönix-Anschlussbuchse befindet sich auf der Geräterückseite
9-7 Technische Datenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)STANDBYGeschlossen, wenn sich das Gerät sich im Zustand STANDBY befindet.MEASUREGeschlossen,
Technische Daten 9-8jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)SNIFFGeschlossen, wenn sich das Gerät im Zustand SNIFF befindet. Dieser Ausgang dient als Rüc
9-9 Technische Datenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)9.4 AnalogausgangDie 4-polige Phönix-Stiftleiste befindet sich auf der Geräterückseite und is
Technische Daten 9-10jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)p1 (Einlassdruck) / p2 (Vorvakuumdruck) UL200Der Einlassdruck p1 oder der Vorvakuumdruck p2
9-11 Technische Datenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)LR exponentDer Leckraten-Exponent wird als Stufenfunktion ausgegeben: U = 1 … 10 V in Schrit
Technische Daten 9-12jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)Pos. Beschreibung1 Externer, aktiver LautsprecherAbb. 9-3 Externe Beschaltung, z.B. SPS mit
9-13 Technische Datenjinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)9.5.2 PLC OUTPIN 3 - 12: Relaiskontakte, max. 60V DC / 25V AC / 1APIN 13, 14: Halbleiterrela
Technische Daten 9-14jinb80d1-h Technisches Handbuch(1012)9.5.3 Pressure GaugeAnschluss von Sensoren mit 4 … 20mA Signal Hinweis Steckbrücken auf Schn
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